無塵手套的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)及方法

由于高科技產(chǎn)品的精度越來越高，愈來愈多的產(chǎn)品被要求在相對(duì)潔凈的無塵室中生產(chǎn)、包裝、測(cè)試，如電腦的磁頭、硬盤、LCD、數(shù)碼像機(jī)、光學(xué)電子等行業(yè)。在這些行業(yè)中，會(huì)使用到大量的無塵室專用無塵手套用于保護(hù)產(chǎn)品、人員、環(huán)境等。從污染的角度理解，人被視為潔凈室內(nèi)*大的污染物發(fā)生源，操作人員通過穿上特殊的服裝防護(hù)系統(tǒng)來保護(hù)潔凈室環(huán)境，無塵手套作為這種服裝系統(tǒng)的重要組成部分，不但具有充分的防護(hù)作用，同時(shí)不會(huì)污染受控環(huán)境中生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵區(qū)域，所以手套的作用很關(guān)鍵。IEST-RP-005.3主要就手套的原料、生產(chǎn)、包裝、測(cè)試等做了詳細(xì)的規(guī)定。 

到底該選用何種手套在無塵室中使用，IEST沒有明確的規(guī)定，但是建議從產(chǎn)品的精度、無塵室的級(jí)別、成本核算等方面綜合考慮。一般來說，如果是ISO 5級(jí)或以上的無塵室，建議使用丁腈橡膠手套；如果是生產(chǎn)晶圓、磁頭、硬盤、光學(xué)儀器等應(yīng)使用丁腈橡膠手套。  

由于手套多數(shù)時(shí)候是和產(chǎn)品直接接觸的，所以對(duì)其品質(zhì)要**非常嚴(yán)格的，IEST標(biāo)準(zhǔn)要求對(duì)生產(chǎn)后的手套，在使用前必須進(jìn)行清洗以及測(cè)試合格后方可使用。測(cè)試主要分四部分：外觀檢查、物理測(cè)試、ESD性能測(cè)試、化學(xué)測(cè)試。下面主要介紹一下化學(xué)方面的測(cè)試。 

要做化學(xué)測(cè)試，首先需要專門的儀器、環(huán)境、水源、輔助系統(tǒng)等支持，即需要建造一個(gè)實(shí)驗(yàn)室。這是一筆相當(dāng)大的開支，多數(shù)企業(yè)不會(huì)選擇自己做測(cè)試，選用專門的有資格的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試是一個(gè)好的辦法，不過需要付出一定的測(cè)試費(fèi)用。 

由于對(duì)產(chǎn)品的影響多是微觀因素，即一些肉眼看不見的塵粒子、微生物等，所以測(cè)試手套也是從微觀方面做出分析： 

1．LPC測(cè)試(液態(tài)塵粒測(cè)試)：LPC測(cè)試是將被測(cè)物浸泡于DI水中，再進(jìn)行1分鐘的超聲波震蕩，將附著在被測(cè)物上的塵粒溶解于DI水中，然后計(jì)算DI水中液態(tài)塵粒的數(shù)量的方法。該測(cè)試是檢查手套潔凈度的一種重要測(cè)試方法，主要看手套會(huì)跌落多少對(duì)產(chǎn)品有影響的塵粒，如磁頭行業(yè)，對(duì)于大于或等于0.5um的塵粒，不能超過3000個(gè)每平方厘米（@0.5um<=3000counts/cm^2）。 

2．NVR(非揮發(fā)性殘留物)測(cè)試：是測(cè)試手套上非揮發(fā)性殘留物含量的一種測(cè)試方法，測(cè)試時(shí)，用一定量的溶劑對(duì)被測(cè)試部位進(jìn)行淋洗或浸泡，收集淋洗或浸泡后的溶液使溶劑揮發(fā)，用微量天平稱量殘留物，即可得出手套上非揮發(fā)性殘留物的含量.NVR超標(biāo)可知手套表面有非揮發(fā)性殘留物污染。在電腦硬盤行業(yè)，一般規(guī)定NVR<20ug/cm^2。 

3．FTIR（傅立葉紅外線光譜）測(cè)試：由于產(chǎn)品的要求，無塵室不允許有硅油、氨基化合物、DOP等物質(zhì)存在，因?yàn)樵撔┪镔|(zhì)會(huì)影響到產(chǎn)品的質(zhì)量。因此，對(duì)手套必須進(jìn)行FTIR測(cè)試。測(cè)試時(shí)，用一定量的溶劑對(duì)被測(cè)試部位進(jìn)行淋洗或浸泡，收集淋洗或浸泡后的溶液使溶劑揮發(fā)，將殘留物作紅外線光譜分析。這種方法可以分析出手套上是否殘留有硅油、氨基化合物、DOP等。（注意：該測(cè)試的結(jié)果如果合格，則表示上述三種殘留物沒有超過敏感線，并不表示完全沒有）。 

4．IC（離子測(cè)試）：是將被測(cè)物浸泡于DI水中，再進(jìn)行超聲波震蕩，將附著在被測(cè)物上的無機(jī)陰陽離子溶解于DI水中，然后再進(jìn)行色譜分析的方法。IC測(cè)試可測(cè)出被測(cè)物上陰陽離子的種類，及每種離子的含量。該測(cè)試*常監(jiān)控的離子是Cl-、NO3-、SO4-、PO4-等，一般總重量不能超過1.0(Total<1.0)。 

5．GC（有機(jī)揮發(fā)物色譜測(cè)試）：是用來分析手套上有機(jī)污染物的種類和含量的一種方法。測(cè)試時(shí)，將手套加溫到一定溫度，使有機(jī)污染物揮發(fā),將揮發(fā)出來的氣體收集起來，進(jìn)行色譜分析，可得出有機(jī)污染物的種類和含量，當(dāng)GC測(cè)試超標(biāo)時(shí)，說明手套上的有機(jī)污染物超標(biāo)。一般在磁頭行業(yè)其標(biāo)準(zhǔn)控制在10ug/g(Total：GC<10ug/g)。 

以上測(cè)試是行業(yè)中*常規(guī)的幾種測(cè)試，同時(shí)IEST還規(guī)定了如硫化氫測(cè)試、耐腐蝕測(cè)試、灰燼測(cè)試等，企業(yè)可以根據(jù)產(chǎn)品的需要做出適當(dāng)?shù)倪x擇。