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潔凈棚分為幾種類型

          潔凈棚分為幾種類型如下:層流式和亂流式
          1.層流式(英文名;Laminar):潔凈棚層流式原理是氣流運動采用均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之空氣過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。潔凈棚層流式式有二種:
          一.垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
          優(yōu)點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
          缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
          二.水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
          而這種潔凈棚優(yōu)點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。
          缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
          2.亂流式(英文名TurbulentFlow):
          潔凈棚亂流式是空氣由風機箱經(jīng)風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
          優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
          缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。

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